Introduzzjoni għall-pads tal-illustrar tal-art

Il-kompożizzjoni materjali tal-pads tat-tħin tal-art (imsejħa wkoll pads tal-illustrar jew pads tax-xkatlar) tvarja skont l-applikazzjoni maħsuba tagħhom u l-istadju speċifiku tal-fluss tax-xogħol tal-ipproċessar.

Pads tal-illustrar-magħrufa wkoll bħala pads CMP jew kimiċi-kuxxinetti tal-planarizzazzjoni mekkanika-iservu bħala konsumabbli ewlieni fil-proċess tal-Illustrar Kimika-Mechanical (CMP). Dawn huma primarjament utilizzati għall-planarizzazzjoni tal-wiċċ ta 'sottostrati bħal wejfers semikondutturi. Tipikament fabbrikati minn materjali bħall-polyurethane, dawn il-pads huma kkategorizzati b'mod wiesa'-ibbażat fuq il-kompożizzjoni tagħhom-f'tipi inklużi polyurethane, drappijiet mhux-minsuġa, materjali naturali, u materjali komposti. Storikament, dan is-suq kien monopolizzat ħafna minn intrapriżi barranin; fis-suq domestiku, Dinglong Co., Ltd stands bħala intrapriża rappreżentattiva f'dan is-settur.

Il-funzjoni ewlenija tagħhom matul il-proċess tal-illustrar tinvolvi t-twassil tad-demel likwidu tal-illustrar, it-trażmissjoni tal-pressjoni, u l-eżerċizzju ta 'frizzjoni mekkanika fuq il-wiċċ tal-wejfer.

Il-pads tal-illustrar tipikament għandhom mikrostruttura poruża, b'mudelli speċifiċi tal-kanal iddisinjati fl-uċuħ tagħhom biex itejbu l-uniformità tal-illustrar.

Parametri ewlenin tal-prestazzjoni-bħal mudelli ta' ebusija u skanalaturi-huma attributi kritiċi tal-pads tal-illustrar, peress li jinfluwenzaw direttament kemm ir-rata tat-tneħħija tal-materjal kif ukoll il-finitura finali tal-wiċċ.